තාක්ෂණ
Molecular beam epitaxy නොහොත් MBE යනු ස්ඵටික උපස්ථර මත ස්ඵටිකවල උසස් තත්ත්වයේ තුනී පටල වර්ධනය කිරීම සඳහා වූ නව තාක්ෂණයකි.අධි-ඉහළ රික්ත තත්ත්වයේ දී, රත් කරන උදුන මඟින් අවශ්‍ය සියලුම සංරචක වලින් සමන්විත වන අතර, කදම්බ පරමාණුක හෝ අණුක කදම්භ ඝට්ටනය කිරීමෙන් පසු සෑදෙන සිදුරු හරහා වාෂ්ප උත්පාදනය කරයි, තනි ස්ඵටික උපස්ථරයේ සුදුසු උෂ්ණත්වයට සෘජුව එන්නත් කිරීම, අණුක කදම්භ පාලනය කිරීම උපස්ථරය එකවර පරිලෝකනය කිරීම, එය ස්ඵටික පෙළගැස්වීමේ ස්ථරවල ඇති අණු හෝ පරමාණු උපස්ථරයක් "වර්ධනය" මත තුනී පටලයක් සෑදිය හැක.
MBE උපකරණවල සාමාන්‍ය ක්‍රියාකාරිත්වය සඳහා, ඉහළ සංශුද්ධතාවය, අඩු පීඩනය සහ අතිශය පිරිසිදු ද්රව නයිට්රජන් අඛණ්ඩව සහ ස්ථාවර ලෙස උපකරණවල සිසිලන කුටියට ප්‍රවාහනය කිරීම අවශ්‍ය වේ.සාමාන්‍යයෙන්, ද්රව නයිට්රජන් සපයන ටැංකියකට 0.3MPa සහ 0.8MPa අතර ප්‍රතිදාන පීඩනයක් ඇත. -196℃ හි ද්රව නයිට්රජන් නල ප්‍රවාහනයේදී පහසුවෙන් නයිට්රජන් බවට වාෂ්ප වේ.1:700 ක පමණ වායු-ද්රව අනුපාතයක් සහිත ද්රව නයිට්රජන් නල මාර්ගයේ ගෑස්කරණය වූ පසු, එය ද්රව නයිට්රජන් ප්‍රවාහ අවකාශය විශාල ප්‍රමාණයක් අත්පත් කර ගන්නා අතර ද්රව නයිට්රජන් නල මාර්ගයේ අවසානයේ සාමාන්‍ය ප්‍රවාහය අඩු කරයි.මීට අමතරව, ද්රව නයිට්රජන් ගබඩා ටැංකිය තුළ, පිරිසිදු නොකළ සුන්බුන් ඇති වීමට ඉඩ ඇත.ද්රව නයිට්රජන් නල මාර්ගයේ, තෙත් වාතය පැවැත්ම ද අයිස් ස්ලැග් උත්පාදනය කිරීමට හේතු වනු ඇත.මෙම අපද්‍රව්‍ය උපකරණ තුළට මුදා හැරියහොත්, එය උපකරණයට අනපේක්ෂිත හානියක් සිදු කරයි.
එබැවින් එළිමහන් ගබඩා ටැංකියේ ඇති ද්රව නයිට්රජන් ඉහළ කාර්යක්ෂමතාවයෙන්, ස්ථායීතාවයෙන් සහ පිරිසිදුව, දූවිලි රහිත වැඩමුළුවේ ඇති MBE උපකරණ වෙත ප්‍රවාහනය කෙරෙන අතර, අඩු පීඩනය, නයිට්රජන් නොමැති, අපද්‍රව්‍ය නොමැතිව, පැය 24 පුරාම බාධාවකින් තොරව, එවැනි ප්‍රවාහන පාලන පද්ධතියකි. සුදුසුකම් ලත් නිෂ්පාදනයක්.
MBE උපකරණ ගැලපීම
2005 සිට, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) මෙම පද්ධතිය ප්‍රශස්ත කිරීම සහ වැඩිදියුණු කිරීම සහ ජාත්‍යන්තර MBE උපකරණ නිෂ්පාදකයින් සමඟ සහයෝගයෙන් කටයුතු කරයි.DCA, REBER ඇතුළු MBE උපකරණ නිෂ්පාදකයින්, අපගේ සමාගම සමඟ සමුපකාර සබඳතා ඇත.DCA සහ REBER ඇතුළු MBE උපකරණ නිෂ්පාදකයින් විශාල ව්‍යාපෘති සංඛ්‍යාවක සහයෝගයෙන් කටයුතු කර ඇත.
Riber SA යනු සංයෝග අර්ධ සන්නායක පර්යේෂණ සහ කාර්මික යෙදුම් සඳහා අණුක කදම්භ epitaxy (MBE) නිෂ්පාදන සහ අදාළ සේවාවන් සපයන ප්‍රමුඛ ගෝලීය සැපයුම්කරුවෙකි.Riber MBE උපාංගයට ඉතා ඉහළ පාලනයක් සහිතව උපස්ථරය මත ඉතා තුනී ද්‍රව්‍ය ස්ථර තැන්පත් කළ හැක.HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) හි රික්ත උපකරණ Riber SA වලින් සමන්විත වේ විශාලතම උපකරණය Riber 6000 වන අතර කුඩාම එක Compact 21 වේ. එය හොඳ තත්ත්වයේ පවතින අතර පාරිභෝගිකයින් විසින් හඳුනාගෙන ඇත.
DCA යනු ලොව ප්‍රමුඛතම ඔක්සයිඩ් MBE වේ.1993 සිට ඔක්සිකරණ ශිල්පීය ක්‍රම, ප්‍රතිඔක්සිකාරක උපස්ථර උණුසුම සහ ප්‍රතිඔක්සිකාරක ප්‍රභවයන් ක්‍රමානුකූලව සංවර්ධනය කිරීම සිදු කර ඇත.මේ හේතුව නිසා බොහෝ ප්‍රමුඛ රසායනාගාර DCA ඔක්සයිඩ් තාක්ෂණය තෝරාගෙන ඇත.සංයුක්ත අර්ධ සන්නායක MBE පද්ධති ලොව පුරා භාවිතා වේ.HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) හි VJ ද්රව නයිට්රජන් සංසරණ පද්ධතිය සහ DCA හි බහු මාදිලියේ MBE උපකරණ P600, R450, SGC800 වැනි බොහෝ ව්‍යාපෘතිවල ගැළපෙන අත්දැකීම් ඇත.
කාර්ය සාධන වගුව
| ෂැංහයි තාක්ෂණික භෞතික විද්‍යා ආයතනය, චීන විද්‍යා ඇකඩමිය |
| චීන ඉලෙක්ට්‍රොනික්ස් තාක්ෂණ සංස්ථාවේ 11 වන ආයතනය |
| අර්ධ සන්නායක ආයතනය, චීන විද්‍යා ඇකඩමිය |
| Huawei |
| අලිබබා ඩමෝ ඇකඩමිය |
| Powertech Technology Inc. |
| Delta Electronics Inc. |
| Suzhou Everbright Photonics |
පසු කාලය: මැයි-26-2021