තාක්ෂණය
අණුක කදම්භ එපිටැක්සි නොහොත් MBE යනු ස්ඵටික උපස්ථර මත උසස් තත්ත්වයේ ස්ඵටික තුනී පටල වගා කිරීම සඳහා නව තාක්ෂණයකි. අතිශය ඉහළ රික්තක තත්වයන් යටතේ, තාපන උදුන මගින් අවශ්ය සියලු වර්ගවල සංරචක වලින් සමන්විත වන අතර වාෂ්ප ජනනය කරයි, කදම්භ පරමාණුක හෝ අණුක කදම්භ ගැටීමෙන් පසු සාදන ලද සිදුරු හරහා, තනි ස්ඵටික උපස්ථරයේ සුදුසු උෂ්ණත්වයට සෘජුවම එන්නත් කිරීම, උපස්ථරයට අණුක කදම්භ ස්කෑන් කිරීම පාලනය කිරීම, එය ස්ඵටික පෙළගැස්වීමේ ස්ථරවල අණු හෝ පරමාණු උපස්ථරයක් "වර්ධනය" මත තුනී පටලයක් සෑදීමට හේතු විය හැක.
MBE උපකරණවල සාමාන්ය ක්රියාකාරිත්වය සඳහා, ඉහළ සංශුද්ධතාවය, අඩු පීඩනය සහ අතිශය පිරිසිදු ද්රව නයිට්රජන් උපකරණයේ සිසිලන කුටියට අඛණ්ඩව සහ ස්ථායීව ප්රවාහනය කිරීම අවශ්ය වේ. සාමාන්යයෙන්, ද්රව නයිට්රජන් සපයන ටැංකියක ප්රතිදාන පීඩනය 0.3MPa සහ 0.8MPa අතර වේ. -196℃ හි ද්රව නයිට්රජන් නල මාර්ග ප්රවාහනයේදී පහසුවෙන් නයිට්රජන් බවට වාෂ්ප වේ. 1:700 පමණ වායු-ද්රව අනුපාතයක් සහිත ද්රව නයිට්රජන් නල මාර්ගයේ වායුකරණය කළ පසු, එය ද්රව නයිට්රජන් ප්රවාහ අවකාශය විශාල ප්රමාණයක් අල්ලා ගන්නා අතර ද්රව නයිට්රජන් නල මාර්ගයේ අවසානයේ සාමාන්ය ප්රවාහය අඩු කරයි. ඊට අමතරව, ද්රව නයිට්රජන් ගබඩා ටැංකියේ, පිරිසිදු නොකළ සුන්බුන් ඇති වීමට ඉඩ ඇත. ද්රව නයිට්රජන් නල මාර්ගයේ, තෙත් වාතය පැවතීම අයිස් ස්ලැග් ජනනය වීමට ද හේතු වේ. මෙම අපද්රව්ය උපකරණවලට මුදා හැරියහොත්, එය උපකරණවලට අනපේක්ෂිත හානියක් සිදු කරයි.
එබැවින්, එළිමහන් ගබඩා ටැංකියේ ඇති ද්රව නයිට්රජන් දූවිලි රහිත වැඩමුළුවේ MBE උපකරණ වෙත ඉහළ කාර්යක්ෂමතාවයකින්, ස්ථාවරත්වයකින් සහ පිරිසිදුව ප්රවාහනය කරනු ලබන අතර, අඩු පීඩනය, නයිට්රජන් නොමැති, අපද්රව්ය නොමැති, පැය 24 පුරාම අඛණ්ඩ, එවැනි ප්රවාහන පාලන පද්ධතිය සුදුසුකම් ලත් නිෂ්පාදනයකි.



ගැලපෙන MBE උපකරණ
2005 සිට, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) මෙම පද්ධතිය ප්රශස්තකරණය කර වැඩිදියුණු කරමින් සිටින අතර ජාත්යන්තර MBE උපකරණ නිෂ්පාදකයින් සමඟ සහයෝගයෙන් කටයුතු කරයි. DCA, REBER ඇතුළු MBE උපකරණ නිෂ්පාදකයින් අපගේ සමාගම සමඟ සහයෝගී සබඳතා පවත්වයි. DCA සහ REBER ඇතුළු MBE උපකරණ නිෂ්පාදකයින් විශාල ව්යාපෘති ගණනාවකට සහයෝගයෙන් කටයුතු කර ඇත.
Riber SA යනු සංයෝග අර්ධ සන්නායක පර්යේෂණ සහ කාර්මික යෙදුම් සඳහා අණුක කදම්භ එපිටැක්සි (MBE) නිෂ්පාදන සහ අදාළ සේවාවන් සපයන ප්රමුඛ ගෝලීය සැපයුම්කරුවෙකි. Riber MBE උපාංගයට උපස්ථරය මත ඉතා තුනී ද්රව්ය ස්ථර තැන්පත් කළ හැකි අතර ඉතා ඉහළ පාලනයක් ඇත. HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) හි රික්තක උපකරණ Riber SA වලින් සමන්විත වේ. විශාලතම උපකරණය Riber 6000 වන අතර කුඩාම උපකරණය Compact 21 වේ. එය හොඳ තත්ත්වයේ පවතින අතර පාරිභෝගිකයින් විසින් හඳුනාගෙන ඇත.
DCA යනු ලොව ප්රමුඛතම ඔක්සයිඩ් MBE වේ. 1993 සිට, ඔක්සිකරණ ශිල්පීය ක්රම, ප්රතිඔක්සිකාරක උපස්ථර උණුසුම සහ ප්රතිඔක්සිකාරක ප්රභවයන් ක්රමානුකූලව සංවර්ධනය කිරීම සිදු කර ඇත. මේ හේතුව නිසා, බොහෝ ප්රමුඛ රසායනාගාර DCA ඔක්සයිඩ් තාක්ෂණය තෝරාගෙන ඇත. සංයුක්ත අර්ධ සන්නායක MBE පද්ධති ලොව පුරා භාවිතා වේ. HL Cryogenic උපකරණ (HL CRYO) හි VJ ද්රව නයිට්රජන් සංසරණ පද්ධතිය සහ DCA හි බහු මාදිලිවල MBE උපකරණ, ආකෘතිය P600, R450, SGC800 වැනි බොහෝ ව්යාපෘතිවල ගැළපෙන අත්දැකීම් ඇත.

කාර්ය සාධන වගුව
ෂැංහයි තාක්ෂණික භෞතික විද්යා ආයතනය, චීන විද්යා ඇකඩමිය |
11 වන චීන ඉලෙක්ට්රොනික තාක්ෂණ සංස්ථාවේ ආයතනය |
අර්ධ සන්නායක ආයතනය, චීන විද්යා ඇකඩමිය |
හුආවේ |
අලිබබා ඩැමෝ ඇකඩමිය |
නිෂ්පාදක : Powertech Technology Inc. |
ඩෙල්ටා ඉලෙක්ට්රොනික්ස් ඉන්කෝපරේෂන්. |
සුෂෝ එවර්බ්රයිට් ෆෝටෝනික්ස් |
පළ කිරීමේ කාලය: 2021 මැයි-26