ද්රව නයිට්රජන් සිසිලන පද්ධති අර්ධ සන්නායක සහ චිප් කර්මාන්තයේ බහුලව භාවිතා වේ, ක්‍රියාවලිය ඇතුළුව,
- Molecular Beam Epitaxy (MBE) තාක්ෂණය
- COB පැකේජයෙන් පසු චිපයේ පරීක්ෂණය
අදාළ නිෂ්පාදන
රික්ත පරිවරණය කළ පයිප්ප මාලාව
රික්තක පරිවරණය කරන ලද නම්යශීලී හෝස් මාලාව
ගතික රික්තක පොම්ප පද්ධතිය
රික්ත පරිවරණය කරන ලද අදියර බෙදුම්කරු මාලාව
රික්ත පරිවාරක කපාට මාලාව
නල පද්ධති ආධාරක උපකරණ
අණුක කදම්භ EPITAXY
රික්ත වාෂ්පීකරණ තාක්ෂණය භාවිතයෙන් අර්ධ සන්නායක තුනී පටල ද්‍රව්‍ය සකස් කිරීම සඳහා Molecular Beam Epitaxy (MBE) තාක්ෂණය 1950 ගණන්වල දී සංවර්ධනය කරන ලදී. අධි-ඉහළ රික්තක තාක්‍ෂණයේ දියුණුවත් සමඟ, තාක්‍ෂණයේ යෙදීම අර්ධ සන්නායක විද්‍යා ක්ෂේත්‍රයට ව්‍යාප්ත වී ඇත.
MBE ද්රව නයිට්රජන් සිසිලන පද්ධතිය, MBE තාක්ෂණය සඳහා විශේෂ MBE ද්රව නයිට්රජන් සිසිලන පද්ධතියක් සහ බොහෝ ව්‍යවසායන්, විශ්වවිද්‍යාල සහ පර්යේෂණ ආයතනවල භාවිතා කර ඇති සම්පූර්ණ රික්ත පරිවරණය කළ නල පද්ධතියක් සාර්ථකව සංවර්ධනය කිරීම සඳහා සංවිධානාත්මක තාක්ෂණික පසුබිමක ඉල්ලුම HL විසින් හඳුනාගෙන ඇත. .
අර්ධ සන්නායක සහ චිප් කර්මාන්තයේ පොදු ගැටළු වලට ඇතුළත් වන්නේ,
- ද්රව නයිට්රජන් ටර්මිනල් (MBE) උපකරණවලට පීඩනය. හානියට පත් පර්යන්ත (MBE) උපකරණවලින් පීඩන අධික වීම වැළැක්වීම.
- බහු ක්‍රයොජනික් ද්රව ආදාන සහ පිටවන පාලන
- ද්රව නයිට්රජන් පර්යන්ත උපකරණවල උෂ්ණත්වය
- සාධාරණ ක්‍රයොජනික් වායු විමෝචන ප්‍රමාණයක්
- (ස්වයංක්‍රීය) ප්‍රධාන සහ ශාඛා රේඛා මාරු කිරීම
- VIP හි පීඩන ගැලපීම (අඩු කිරීම) සහ ස්ථාවරත්වය
- ටැංකියේ ඇති විය හැකි අපද්‍රව්‍ය සහ අයිස් අපද්‍රව්‍ය පිරිසිදු කිරීම
- ටර්මිනල් දියර උපකරණ පිරවීමේ කාලය
- නල මාර්ගයේ පෙර සිසිලනය
- VIP පද්ධතියේ ද්රව ප්රතිරෝධය
- පද්ධතියේ අඛණ්ඩ සේවා කාලය තුළ ද්රව නයිට්රජන් අහිමි වීම පාලනය කරන්න
HL හි රික්ත පරිවාරක නල (VIP) ප්‍රමිතියක් ලෙස ASME B31.3 පීඩන නල කේතයට ගොඩනගා ඇත. පාරිභෝගිකයාගේ බලාගාරයේ කාර්යක්ෂමතාව සහ පිරිවැය-ඵලදායීතාවය සහතික කිරීම සඳහා ඉංජිනේරු අත්දැකීම් සහ තත්ත්ව පාලන හැකියාව.
විසඳුම්
HL Cryogenic උපකරණ අර්ධ සන්නායක සහ චිප් කර්මාන්තයේ අවශ්යතා සහ කොන්දේසි සපුරාලීම සඳහා රික්ත පරිවාරක නල පද්ධතිය පාරිභෝගිකයින්ට සපයයි:
1.තත්ත්ව කළමනාකරණ පද්ධතිය: ASME B31.3 පීඩන නල කේතය.
2.බහු ක්‍රයොජනික් ද්රව ආදාන සහ ස්වයංක්‍රීය පාලන ක්‍රියාකාරීත්වය සහිත පිටවාන සහිත විශේෂ අදියර බෙදුම්කරු වායු විමෝචනය, ප්‍රතිචක්‍රීකරණය කරන ලද ද්රව නයිට්රජන් සහ ද්රව නයිට්රජන් උෂ්ණත්වයේ අවශ්‍යතාවය සපුරාලයි.
3.ප්‍රමාණවත් සහ කාලෝචිත පිටාර සැලසුම මඟින් පර්යන්ත උපකරණ සෑම විටම සැලසුම් කරන ලද පීඩන අගය තුළ ක්‍රියා කරන බව සහතික කරයි.
4.ගෑස්-ද්රව බාධකය VI නල මාර්ගයේ අවසානයේ සිරස් VI පයිප්පයේ තබා ඇත. ගෑස්-ද්රව බාධකය VI නල මාර්ගයේ කෙළවරේ සිට VI පයිප්පයට තාපය අවහිර කිරීමට ගෑස් මුද්‍රා මූලධර්මය භාවිතා කරයි, සහ පද්ධතියේ අඛණ්ඩ සහ කඩින් කඩ සේවා අතරතුර ද්රව නයිට්රජන් නැතිවීම ඵලදායී ලෙස අඩු කරයි.
5.VI රික්ත පරිවාරක කපාටය (VIV) ශ්‍රේණිය මගින් පාලනය වන පයිප්ප: රික්ත පරිවරණය කළ (වායුමය) වසා දැමීමේ කපාටය, රික්ත පරිවරණය කරන ලද චෙක් කපාටය, රික්ත පරිවරණය කළ නියාමක කපාටය යනාදිය ඇතුළුව. VIV විවිධ වර්ගවල VIP පාලනය කිරීම සඳහා මොඩියුලර් කළ හැක. අවශ්යයි. VIV ස්ථානයේ පරිවරණය කළ ප්‍රතිකාරයකින් තොරව නිෂ්පාදකයාගේ VIP පෙර සැකසුම සමඟ ඒකාබද්ධ වේ. VIV හි මුද්‍රා ඒකකය පහසුවෙන් ප්‍රතිස්ථාපනය කළ හැකිය. (HL විසින් පාරිභෝගිකයින් විසින් නම් කරන ලද ක්‍රයොජනික් කපාට සන්නාමය පිළිගනී, පසුව HL මගින් රික්ත පරිවරණය කරන ලද කපාට සාදයි. සමහර වෙළඳ නාම සහ කපාට ආකෘති රික්ත පරිවරණය කළ කපාට බවට පත් කිරීමට නොහැකි විය හැක.)
6.පිරිසිදුකම, අභ්යන්තර නල මතුපිට පිරිසිදුකම සඳහා අමතර අවශ්යතා තිබේ නම්. මල නොබැඳෙන වානේ කාන්දුව තවදුරටත් අවම කිරීම සඳහා පාරිභෝගිකයින් විසින් VIP අභ්යන්තර පයිප්ප ලෙස BA හෝ EP මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්ප තෝරා ගැනීමට යෝජනා කෙරේ.
7. රික්ත පරිවරණය කළ පෙරහන: ටැංකියේ ඇති විය හැකි අපද්‍රව්‍ය සහ අයිස් අපද්‍රව්‍ය ඉවත් කරන්න.
8. දින කිහිපයකට හෝ වැඩි කාලයක් වසා දැමීමෙන් හෝ නඩත්තු කිරීමෙන් පසු, ක්‍රයොජනික් ද්‍රවය සෘජුවම VI පයිප්ප සහ පර්යන්ත උපකරණවලට ඇතුළු වූ පසු අයිස් ස්ලැග් වළක්වා ගැනීම සඳහා, ක්‍රයොජනික් දියර ඇතුළු කිරීමට පෙර VI පයිප්ප සහ පර්යන්ත උපකරණ පූර්ව සිසිල් කිරීම ඉතා අවශ්‍ය වේ. සැලසුම් කිරීමේදී පූර්ව සිසිලනය කිරීමේ කාර්යය සලකා බැලිය යුතුය. එය පර්යන්ත උපකරණ සහ කපාට වැනි VI පයිප්ප ආධාරක උපකරණ සඳහා වඩා හොඳ ආරක්ෂාවක් සපයයි.
9. ගතික සහ ස්ථිතික රික්තක පරිවරණය කළ (නම්යශීලී) නල පද්ධතිය සඳහා ඇඳුම.
10. ගතික රික්ත පරිවාරක (නම්යශීලී) නල පද්ධතිය: VI නම්යශීලී හෝස් සහ/හෝ VI පයිප්ප, ජම්පර් හෝස්, රික්ත පරිවාරක කපාට පද්ධතිය, අදියර බෙදුම්කරුවන් සහ ගතික රික්තක පොම්ප පද්ධතිය (රික්තක පොම්ප, සොලෙනොයිඩ් කපාට ආදිය ඇතුළුව. ) තනි VI නම්යශීලී හෝස් වල දිග පරිශීලක අවශ්යතා අනුව අභිරුචිකරණය කළ හැක.
11.විවිධ සම්බන්ධතා වර්ග: Vacuum Bayonet සම්බන්ධතාවය (VBC) වර්ගය සහ වෑල්ඩින් සම්බන්ධතාවය තෝරාගත හැක. VBC වර්ගයට ස්ථානීය පරිවරණය කළ ප්‍රතිකාර අවශ්‍ය නොවේ.
