වේගවත් අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ, උසස් තත්ත්වයේ නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලීන් සඳහා නිරවද්‍ය පාරිසරික තත්ත්වයන් පවත්වා ගැනීම ඉතා වැදගත් වේ.Molecular Beam Epitaxy (MBE), අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ ප්‍රධාන තාක්ෂණයක්, සිසිලන තාක්‍ෂණයේ දියුණුවෙන්, විශේෂයෙන් ද්රව නයිට්රජන් භාවිතය හරහා සැලකිය යුතු ප්‍රතිලාභයක් ලබා ගනී.රික්ත පරිවාරක පයිප්ප (VIP). මෙම බ්ලොග් අඩවියේ තීරණාත්මක කාර්යභාරය ගවේෂණය කරයිVIPවැඩි දියුණු කිරීමේදී MBEයෙදුම්, එහි කාර්යක්ෂමතාව සහ විශ්වසනීයත්වය අවධාරණය කරයි.
MBE හි සිසිලනය කිරීමේ වැදගත්කම
Molecular Beam Epitaxy (MBE)ට්‍රාන්සිස්ටර, ලේසර් සහ සූර්ය කෝෂ වැනි අර්ධ සන්නායක උපාංග නිෂ්පාදනය සඳහා අත්‍යවශ්‍ය උපස්ථරයක් මත පරමාණුක ස්ථර තැන්පත් කිරීමේ අධි පාලිත ක්‍රමයකි. MBE හි අවශ්ය ඉහළ නිරවද්යතාව සාක්ෂාත් කර ගැනීම සඳහා, ස්ථාවර අඩු උෂ්ණත්වයක් පවත්වා ගැනීම අත්‍යවශ්‍ය වේ. ද්රව නයිට්රජන් බොහෝ විට මේ සඳහා භාවිතා කරනුයේ එහි තාපාංකය -196°C හි අතිශය අඩු තාපාංකය නිසා, තැන්පත් කිරීමේ ක්‍රියාවලියේදී උපස්ථර අවශ්ය උෂ්ණත්වයේ පවතින බව සහතික කරමිනි.
MBE හි ද්රව නයිට්රජන් වල කාර්යභාරය
MBE ක්‍රියාවලීන්හි ද්රව නයිට්රජන් අත්‍යවශ්‍ය වන අතර, අනවශ්‍ය තාප උච්චාවචනයන්ගෙන් තොරව තැන්පත් වීම සහතික කරන ස්ථාවර සිසිලන යාන්ත්‍රණයක් සපයයි. කුඩා උෂ්ණත්ව විචලනයන් පවා පරමාණුක ස්ථරවල දෝෂ හෝ නොගැලපීම් ඇති කළ හැකි බැවින්, උසස් තත්ත්වයේ අර්ධ සන්නායක ද්රව්ය නිෂ්පාදනය සඳහා මෙම ස්ථායීතාවය ඉතා වැදගත් වේ. ද්රව නයිට්රජන් භාවිතය MBE සඳහා අවශ්ය අධි-ඉහළ රික්තක තත්ත්වයන් සාක්ෂාත් කර ගැනීමටත්, දූෂණය වැලැක්වීමටත්, ද්‍රව්‍යවල සංශුද්ධතාවය සහතික කිරීමටත් උපකාරී වේ.
MBE හි රික්ත පරිවාරක පයිප්ප (VIP) වල වාසි
රික්ත පරිවාරක පයිප්ප (VIP)ද්රව නයිට්රජන් කාර්යක්ෂමව ප්‍රවාහනය කිරීමේ ඉදිරි ගමනකි. මෙම පයිප්ප බිත්ති දෙකක් අතර රික්තක තට්ටුවක් සහිතව නිර්මාණය කර ඇති අතර, එය ගබඩාවේ සිට MBE පද්ධතියට ගමන් කරන විට තාප හුවමාරුව සැලකිය යුතු ලෙස අඩු කිරීම සහ ද්රව නයිට්රජන් වල ක්රයොජනික් උෂ්ණත්වය පවත්වා ගැනීම. මෙම සැලසුම වාෂ්පීකරණය හේතුවෙන් ද්රව නයිට්රජන් නැතිවීම අවම කරයි, MBE උපකරණයට ස්ථාවර සහ විශ්වාසදායක සැපයුමක් සහතික කරයි.
කාර්යක්ෂමතාව සහ පිරිවැය-ඵලදායීතාවය
භාවිතා කරමින්VIPතුළMBE යෙදුම්වාසි කිහිපයක් ලබා දෙයි. අඩු තාප අලාභය යනු අඩු ද්රව නයිට්රජන් අවශ්ය වන අතර, මෙහෙයුම් පිරිවැය අඩු කිරීම සහ කාර්යක්ෂමතාව වැඩි කිරීම. අතිරේකව, පරිවාරක ගුණVIPක්රයොජනික් ද්රව්ය හැසිරවීම හා සම්බන්ධ ඉෙමොලිමන්ට් සහ අනෙකුත් උපද්‍රව වල අවදානම අවම කිරීම මගින් ආරක්ෂිත වැඩ පරිසරයක් සඳහා දායක වේ.
වැඩිදියුණු කළ ක්‍රියාවලි ස්ථායිතාව
VIPවෙත යන ගමන පුරාවට ද්රව නයිට්රජන් ස්ථාවර උෂ්ණත්වයක පවතින බව සහතික කරයිMBE පද්ධතිය. අධි-නිරවද්‍ය අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය සඳහා අවශ්ය දැඩි කොන්දේසි පවත්වා ගැනීම සඳහා මෙම ස්ථායීතාවය අතිශයින් වැදගත් වේ. උෂ්ණත්ව උච්චාවචනයන් වළක්වා ගැනීමෙන්,VIPඅවසාන නිෂ්පාදනවල සමස්ත ගුණාත්මක භාවය සහ කාර්ය සාධනය වැඩි දියුණු කරමින් වඩාත් ඒකාකාර සහ දෝෂ රහිත අර්ධ සන්නායක ස්ථර නිෂ්පාදනය කිරීමට උපකාරී වේ.
HL Cryogenic උපකරණ: උසස් ද්රව නයිට්රජන් සංසරණ පද්ධති සමඟින් ප්‍රමුඛයා
HL Cryogenic Equipment Co., Ltd විසින් අති නවීන තාක්ෂණයක් නිර්මාණය කර පර්යේෂණ කර ඇත.ද්රව නයිට්රජන් ප්‍රවාහන සංසරණ පද්ධතියඑය ගබඩා ටැංකියෙන් ආරම්භ වන අතර MBE උපකරණ සමඟ අවසන් වේ. මෙම පද්ධතිය ද්රව නයිට්රජන් ප්‍රවාහනය, අපිරිසිදු විසර්ජනය, පීඩනය අඩු කිරීම සහ නියාමනය, නයිට්රජන් විසර්ජනය සහ ප්‍රතිචක්‍රීකරණය යන කාර්යයන් අවබෝධ කර ගනී. සමස්ත ක්‍රියාවලියම ක්රයොජනික් සංවේදක මගින් අධීක්ෂණය කරනු ලබන අතර ස්වයංක්‍රීය සහ අතින් ක්‍රියාකරන මාතයන් අතර මාරුව සක්‍රීය කරමින් PLC මගින් පාලනය වේ.
දැනට, මෙම පද්ධතිය DCA, RIBER, සහ FERMI වැනි ප්‍රමුඛ පෙළේ නිෂ්පාදකයන්ගෙන් MBE උපකරණ ස්ථාවරව ක්‍රියාත්මක කරයි. සංස්ථාගත කිරීමHL Cryogenic උපකරණ'ගේ උසස් පද්ධතිය ද්රව නයිට්රජන් විශ්වසනීය හා කාර්යක්ෂම සැපයුමක් සහතික කරයි, MBE ක්‍රියාවලිවල ක්‍රියාකාරීත්වය සහ ස්ථායීතාවය තවදුරටත් වැඩි දියුණු කරයි.
නිගමනය
අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ, විශේෂයෙන් MBE යෙදුම්, ද්රව නයිට්රජන් භාවිතය සහරික්ත පරිවාරක පයිප්ප (VIP)නැතුවම බැරි දෙයක්.VIPසිසිලන පද්ධතිවල කාර්යක්ෂමතාව සහ පිරිවැය-ඵලදායීතාවය වැඩි දියුණු කරනවා පමණක් නොව උසස් තත්ත්වයේ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය සඳහා අවශ්ය ස්ථාවරත්වය සහ නිරවද්යතාව සහතික කරයි. උසස් අර්ධ සන්නායක උපාංග සඳහා ඉල්ලුම අඛණ්ඩව වර්ධනය වන බැවින්, නවෝත්පාදනයන් තුළVIPවිසින් දියුණු කරන ලද තාක්ෂණය සහ දියුණු පද්ධතිHL Cryogenic උපකරණකර්මාන්තයේ දැඩි අවශ්‍යතා සපුරාලීම සහ අනාගත දියුණුව සඳහා තීරණාත්මක කාර්යභාරයක් ඉටු කරනු ඇත.
හි ප්‍රතිලාභ උපයෝගී කර ගනිමින්VIPසහHL Cryogenic උපකරණ'sසංකීර්ණද්‍රව නයිට්රජන් ප්‍රවාහන සංසරණ පද්ධතිය, අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදකයින්ට ඔවුන්ගේ MBE ක්‍රියාවලීන්හි වැඩි අනුකූලතාවයක්, කාර්යක්ෂමතාවයක් සහ ආරක්ෂාවක් ලබා ගත හැකි අතර, අවසානයේදී ඊළඟ පරම්පරාවේ ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංග සංවර්ධනයට දායක වේ.
පසු කාලය: ජූනි-15-2024
